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                                          氣體流量測量和校準的原理與實踐
                                          已閱:2314  2018-08-03
                                           

                                          氣體流量測量和校準的原理與實踐


                                          氣體流量測量和校準的原理與實踐 一、氣體流量校準的基本公式 二、氣體流量校準的基本原理 進行比較法流量測量的重要因素 質量流量與體積流量 : 設備和單位 泄露對測量的影響 建立穩定氣流狀態的重要性 硬件配置注意事項 基標準和二級標準 福祿克流量校準中

                                          氣體流量測量和校準的原理與實踐
                                          一、氣體流量校準的基本公式

                                          二、氣體流量校準的基本原理
                                          •進行比較法流量測量的重要因素
                                          •質量流量與體積流量: 設備和單位
                                          •泄露對測量的影響
                                          •建立穩定氣流狀態的重要性
                                          •硬件配置注意事項
                                          •基標準和二級標準
                                          •福祿克流量校準中的新內容

                                          三、基本假定:

                                          對于順序連接的流量參考設備和被測設備, 通過每個部分的流量是相等的。

                                          此假設至少依賴于三個因素

                                          1.測量的量是質量
                                          2.無泄漏
                                          3.排除了瞬時影響(穩定狀態流量)

                                          體積流量和質量流量
                                          •體積流量是體積比時間:qv=cc/min
                                          •質量流量是質量比時間:qm=g/min
                                          •標準質量流量: 質量流量單位常被表示為某種標準狀態下的體積流量單位:
                                          • sccm, slm, sm3/h 是質量流量單位.
                                          • cc/min, ccm, or accm 是體積流量單位.
                                          提示:表示為體積流量單位的質量流量單位是測量誤差的常見來源.

                                          問題1: 氣體流量測量的根本是基 于質量流量還是體積流量?

                                          理解標準質量流量單位(sccm, slm)

                                          在兩種不同壓力和溫度條件下(密度)的1      毫升(cc) 體積

                                          每個體積內的質量(分子數量)是不同的. 標準狀態毫升(standard   cubic     centimeter,  scc) 定義標準狀態下(壓力和溫度)每毫升的質量

                                          為什么是質量流量?
                                          幾乎所有的氣體流量都依據于質量流量,不是體積流量.
                                          質量流量對一下應用是非常重要的:
                                          • 運輸監護
                                          • 氣體混合
                                          • 化工 / 生物反應
                                          • 泄漏率監測
                                          • 化學蒸汽沉積 / 蝕刻...
                                          質量流量對體積流量
                                          質量流量是守恒的:        qm1 = qm2



                                          在密閉系統中,氣體密度隨溫度和壓力的變化而改變。

                                          必須知道氣體密度才能進行準確、直接的氣體流量比較測量!

                                          問題2: 可否使用質量流量標準器 對體積流量儀表進行校準?

                                          質量流量對于體積流量

                                          qm   =       qv     ρ



                                           
                                           

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